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问题描述:

[多选] 影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A.等离子体蚀刻系统的形态 B.等离子体蚀刻的参数 C.光刻胶 D.待蚀刻薄膜的淀积参数条件
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