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[判断]AFM可观测样品内部形貌特征。

[判断]AFM的探针针尖与样品表面直接接触，所以测量时会损伤样品。

[判断]TME可观测厚度1微米以上的样品。

[判断]SEM观测的主要原理是搜集入射电子激发的二次电子进行逐点成像的。

[判断]通常TEM观测的分辨率要高于SEM。

[判断]利用液封直拉法得到的晶锭可以直接切割成晶片。

[填空]12英寸硅晶片是指硅晶片的（）是12英寸。

[判断]通过扩散方式掺杂对杂质浓度和掺杂深度的控制精度比通过离子注入的方式掺杂要高。

[判断]利用正光刻胶曝光、显影、蚀刻的过程中，掩膜版上透光图案对应的基底部位将被蚀刻掉。

[判断]利用氢氟酸蚀刻SiO2薄膜具有各向异性。

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