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[单选]事件处置完毕后，责任科室应立即组织开展事件调查和复盘，所有当事人都要参加异常事件复盘会，以发言讨论形式，分析事件原因、提出改进措施，同时做好现场、工作台账、音像等涉及异常事件的相关资料的保护；

[单选]异常事件结案后，应整理资料，分级存档建册。事件档案资料应至少包括事发视频和音频、事件复盘会签到表和录音、事件调查报告和处理结果、事件处理复盘会签到表和录音、事件整改措施及有关资料。

[单选]责任科室对异常事件立即开展整改及闭环验证工作，原则上在事发后3个自然日内完成，涉及规范、流程发生变更的，需立即向员工宣贯，整改难度大、事件复杂等特殊情况的可在事发后7个自然日内完成。

[单选]SOI抛光机停机超3H各单元需要暖机（）片

[单选]SOI抛光机粗抛、精抛抛光垫（）换一次

[单选]SOI抛光气膜（）换一次

[单选]SOI抛光机清洗单元Brush刷子使用寿命（）。

[单选]SOI抛光机Disk使用寿命（），蓝毛刷使用寿命（）

[单选]SOI抛光机抛光时，粗抛液流量（）、精抛液流量（）

[单选]SOI抛光机加工衬底时，去除量范围（）

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