问题描述：
[多选]
下面哪项是晶圆切割时加CO2后的水阻值范围（）
A．1.0±0.3 MΩ/cm
B．0.6±0.3 MΩ/cm
C．1.0±0.6 M Ω/cm
D．1.0±0.0.2MΩ/cm
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