问题描述：
[填空]
化学试剂的纯度AR、CP、LR、GR分别表示（）、（）、实验纯、（）。
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上一篇：外延层的迁移率低的因素有原材料纯度（）;反应室漏气;外延层的晶体（）;系统沾污等;载气纯度不够;外延层晶体缺陷多;生长工艺条件不适宜。
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