问题描述：
[多选]
下列属于OECO电池片结构的特点有（）
A．通过对电池片表面进行机械加工，可以得到深度约有30um的垂直的沟，机械加工后，为了消除损伤，进行了蚀刻，也有再进行纹理化的
B．在电池片表面的n+层上，形成很薄的氧化膜，然后再在与其上面垂直的沟的侧面制备铝电极，
C．因表面电极而引起的发电面积损失非常小，减反射膜性能好，电极和硅界面状态良好，可以得到高的转换效率
D．为了钝化和防止反射，用PECVD法形成SiN膜
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