问题描述:
[多选]
炉台运行造成浸硅,喷硅处理措施()
A.浸硅,喷硅时应立即切换手动,降低埚位30-50mm
B.对于引发前放置液口距过小升埚位过头导致喷硅,需打开快充阀设置氩气流量为150slpm,节流阀开度100%进行冷却,待液面恢复平稳后重新放置液口距。
C.对于浸硅,喷硅炉台可尝试拉单晶,若成晶困难,可根据现场实际情况决定是否拉多晶。
D.D发生浸硅,喷硅异常应该及时通知班长及主管。
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