问题描述：
[多选]
熔料时漏水处理措施（）
A．切换手动，将加热器功率逐步降至0kw，关闭加热器。
B．依次关闭节流阀、主泵球阀、主真空泵。
C．在【辅助功能】界面，将“大气压力”设定为680Torr，打开快速充气阀，副室压力达到680Tor时，系统自动停止充气。
D．手动设置氩气流量为100slpm，主泵开度95%，进行冷却，禁止关闭主泵.
E．紧急异常无法处理，人员撤离至安全地方，禁止站在炉台的正前方, 等待冷却拆炉。
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