问题描述：
[多选]
影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。
A．等离子体蚀刻系统的形态
B．等离子体蚀刻的参数
C．光刻胶
D．待蚀刻薄膜的淀积参数条件
参考答案：查看无
答案解析：无
☆收藏
答案解析：无
☆收藏
- 我要回答: 网友(3.16.157.177)
- 热门题目: 1.松孔镀铬层应用于受重压的滑动 2.镀硬铬可用于修复被磨损零件的 3.在黄铜上喷砂处理或在缎面镍上