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[多选] 等径掉棒处理措施()
A.切换手动,设定埚转、埚升、晶转、晶升为零。 B.下降埚位是硅液脱开导流筒。若掉棒后已经结晶,则禁止降低埚位。 C.关闭加热器电源,手动设置氩气流量为100slpm,节流阀开度100%,进行冷却。若发生漏硅,参照漏硅处理办法。 D.报告上级领导确认,反馈炉台运行信息,班长主管在观察窗确认并停炉处理, 切换手动,将加热器功率逐步降至0kw,关闭加热器;
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