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[多选] 坩埚鼓包,变形处理()
A.操作发现石英埚鼓包,变形,及时通知上级领导,IPQC及现场工艺 B.操作工如果判定不影响拉晶,则继续运行加料试拉晶。 C.主管及现场工艺判定;不影响拉晶,则继续运行试拉晶,如果影响拉晶则尝试降低埚转拉晶,但不进行加料及复投操作。 D.如果发现漏硅,则按照漏硅停炉处理,在拉晶记录备注栏加料过程异常。
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