问题描述：
[多选]
干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。
A．离子、电子
B．中性原子
C．分子
D．自由基
参考答案：查看无
答案解析：无
☆收藏
答案解析：无
☆收藏
- 我要回答: 网友(216.73.217.73)
- 热门题目: 1.在不同的条件下，铜的腐蚀产物 2.铜及铜合金在器材器件中占有重 3.纯铜具有物理化学特性有（）。