问题描述:
[多选]
引晶多次切手动,异常处理措施()
A.引晶切手动后将主加热功率升至比引晶功率高10-15KW
B.将埚位降至坩埚下限
C.将埚位降至坩埚下限然后埚位升至工艺要求引晶埚位
D.将热屏升至热屏上限,然后将热屏下至热屏下限
E.将埚位升至工艺要求引晶埚位
F.安要求完成操作点预调温进行重新调整温度
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