问题描述:
[多选]
拉晶时加热器跳停处理措施()
A.保持【等径控制】、【热场控制】、【生长控制】、【液位控制】,将氩气阀门及主泵球阀打开,随时观察炉内情况及等经拉速;
B.两分钟内处理正常,且晶体没有明显长粗的,功率会自动回升可继续拉晶,超过2分钟,晶体出现边缘有结晶情况,降低埚位,选择快速点动使晶体脱离液面40mm左右,液面未全部结晶,或液面虽然全部结晶但结晶表面尚未鼓包。处理正常后,可继续加热;迅速升高主、底加热器功率至熔料功率,结晶熔化后继续拉晶;
C.液面全部结晶且结晶表面有鼓包现象,禁止加热,停炉处理。
D.切换手动,设定埚转、埚升、晶转、晶升为零设置氩气流量为100slpm,节流阀开度100%,进行冷却。
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