问题描述：
[多选]
转换效率的影响因素包括（）
A．短路电流、开路电压
B．填充因子
C．环境洁净度
D．测量
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上一篇：PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜（SiNx( )H）。
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