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[单选]机台维护后,不必点检机台,可以直接恢复量产。
[单选]机台更换MO源,若为同厂家MO源,则无需观察数据,可以直接持续量产。
[单选]机台出现异常时,可以解决的问题无需上报主管。
[单选]只需要关注外延机台数据即可,无需关注芯片端数据。
[单选]工程师需要每天进行数据监控,包括外延数据以及芯片数据。
[单选]工艺工程师只需负责工艺方面工作,当机台出现设备上的异常时,无需跟进处理过程。
[单选]机台更换TMIn源后,可以直接上满炉恢复量产。
[单选]芯片数据电压越高和亮度越高,代表产出的外延片制成的芯片越优质。
[单选]工程师只需要关注外延数据中波长以及STD数据及良率,其他外延数据不用监控。
[单选]重结晶层主要作用为将低温长的非晶缓冲层通过高温形成多/单晶GaN缓冲层。
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