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[单选]
SOI抛光机需要手动配液时,粗抛配液时,原液:DIW();精抛配液时,原液:DIW()
[单选]
SOP中规定,SOI抛光机开班多久需对抛光进行点检()
[单选]
SOI抛光机颗粒监控()一次
[单选]
SOI抛光机上载台上的硅片,待抛面应该朝下。
[单选]
更换粗抛垫时,需要将Disk一起更换。
[单选]
更换抛光垫后,需要使用熨头将抛光垫内气泡熨除
[单选]
衬底硅片和SOI硅片抛光首检流程、项目是一样的。
[单选]
抛光抛垫更换结束后可直接进行抛光片加工。
[单选]
加工正片必须使用SMIF盒子上载硅片。
[单选]
当SOI抛光机耗材寿命报警时,该颗次产品余量不多时,可选择继续作业。
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