电化学工程试题-第8页-百科知识题库-简明问答题库

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[单选]碱性氯化铜蚀刻液一定可用于下列何种抗蚀层（）。

[单选]湿法蚀刻的主要方式中产生侧蚀程度最小的是（）。

[单选]下列蚀刻系数数字中表示侧蚀最严重的是（）。

[单选]蚀刻系数的表达式为（）。

[单选]用来衡量侧蚀量的大小程度的选项为（）。

[单选]所有金属抗蚀层都可适用碱性蚀刻液，大部分金属不可用酸性蚀刻液，金除外。

[多选]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

[多选]喷淋蚀刻中使用的喷嘴的类型有（）。

[单选]侧蚀的程度是以侧向蚀刻的宽度来表示的，符号为（）。

[单选]印制电路板蚀刻液蚀刻的对象是（）。

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