问题描述：
[填空]
等离子增强反应沉积中，由于等离子体中（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉积温度，例如硅烷和氨气的反应在通常条件下，约在850℃左右反应并沉积氮化硅，但在等离子体增强反应的条件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
参考答案：查看无
答案解析：无
☆收藏
答案解析：无
☆收藏
- 我要回答: 网友(18.117.170.80)
- 热门题目: 1.怎样诊断树木病害的病原？ 2.橄榄石的颜色主要由（）致色 3.下列方法中受地形影响最小的方