当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[多选] 光刻胶的光学稳定通过()来完成的。
A.红外线辐射 B.X射线照射 C.加热 D.紫外光辐射 E.电子束扫描
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