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[单选] 折射率是表征CVD 薄膜的重要参数,对于氧化硅(1)、氮化硅(2)、多晶硅(3) 折射率从大到小的排序是()
A.1、2、3 B.3、2、1 C.2、1、3 D.3、1、2
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