问题描述：
[单选]
以下选项那些不属于干法刻蚀的优点（）
A．A 各向同性
B．B良好的关键尺寸（CD）控制
C．C最小的光刻胶脱落或粘附问题
D．D良好的片内、片间、批次间的刻蚀均匀性
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