问题描述:
[多选]
对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。
A.入射离子的能量
B.入射离子的质量
C.入射离子的原子序数
D.靶原子的质量、原子序数、原子密度
E.注入离子的总剂量
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