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问题描述:

[多选] 对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。
A.入射离子的能量 B.入射离子的质量 C.入射离子的原子序数 D.靶原子的质量、原子序数、原子密度 E.注入离子的总剂量
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