当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[单选] ()就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面,使其中离子注入层在极短的时间内达到高温,消除损伤。
A.热退火 B.激光退火 C.连续激光退火 D.脉冲激光退火
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