问题描述：
[多选]
湿法蚀刻具有以下哪些缺点（）。
A．化学药品处理时人员会遭遇的安全问题
B．反应溶液及去离子水需花费较高成本
C．光刻胶会产生附着性问题
D．蚀刻不均匀
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