当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[多选] 静电释放带来的问题有哪些()。
A.金属电迁移 B.金属尖刺现象 C.芯片产生超过1A的峰值电流 D.栅氧化层击穿 E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
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