问题描述：
[多选]
在先进制程中铜互连为什么可以代替铝互连？（）
A．铜的电阻率比铝低;
B．大马士结构和化学机械研磨技术的发明;
C．电镀可以实现小尺寸图形铜的填充;
D．Ta/TaN阻挡层很好的解决了铜扩散和黏附性的问题
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