当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[单选] 在各种离子源常用的放电方式中,EOS是指有()。
A.电子振荡放电 B.离子自动放电 C.低电压弧光放电 D.双等离子电弧放电
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