当前位置:百科知识 > 集成电路制造工艺员(三级)试题

问题描述:

[多选] 净化室将硅片制造设备与外部环境隔离,免受诸如()的沾污。
A.颗粒 B.金属 C.有机分子 D.静电释放(ESD) E.水
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