问题描述:
[多选]
如何避免漏硅()
A.认真检查石英坩埚
B.标准手法装料
C.按照标准结晶加料
D.熔料/加料时及时调整埚位
E.合理控制运行时间
F.埚邦、埚托高纯卫生达到检查标准
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